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大速度 2.0m/s，
加速度 2.5G
定位方式 CCD视觉系统校正
定位精度 ±0.075mm
智能电批 Atlas/Lecureux/Vanguard/HIOS
电源 220V
功率 3.5KW
加速度 2.5G
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定位精度 ±0.075mm
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